
エアーベアリングとプラナーモータは、点から点への位置決めにµmの精度が求められる場合に適しています。プラナーモーターシステムでは、磁気抵抗の原理によって推力が生成されます。ステータ上のフォーサーの強力な磁気吸引力により、プラナーシステムは垂直方向や張り出しでも使用可能です。
プラナーシステムは、1つのステータに対して複数のフォーサーを使うことにより、作業スペースを効果的に使用することも可能です。同一ステータ上で複数のフォーサーを独立して作動させることで、限定された生産プロセスの空間を有効活用することができます。
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利点:
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用途