シェフラージャパン株式会社

アプリケーション

ウェハーソー

高精度ウェハーへの対応

インゴットをワイヤーにて切断するウェハー製造工程。ここでも、KUMEシリーズ4列軌道ミニチュアリニアボールガイドシステムが活躍しています。

ワイヤーソー送り装置の可動条件は過酷です。炭化珪素と切断用グリースが混ざったスラリーにより、関連コンポーネント全ての寿命に悪影響を与えます。そこでINAでは、耐腐食性ミニチュアボールガイドを標準で取り揃えております。

INAミニチュアガイドシステムがワイヤーソーに最適な理由は、他にも高剛性・高精度、摺動抵抗が均一で低いこと、端部まで潤滑が行えることなどです。さらに、従来のリニアガイドシステムと比較して、費用対効果の点で群を抜いて優れています。

ワイヤーソーでは、リニアガイドおよび回転軸受のどちらにおいても、様々な動作をサポートする必要があり、技術的にも経済的にも最適で完成度の高いソリューションを提供することができます。

こうした用途では高い剛性を持つ、針状ころ軸受が適しており、ワイヤーソーや旋回リングに使用されております。