アプリケーション

結晶引き上げ

 
 

信頼できる動作性能を求めて

完成したシリコンウェハーが生産ラインから出荷される前までに、様々な工程があります。最初の工程は、結晶引き上げと呼ばれる工程です。

結晶引き上げ装置は、振動がなく、材料を均一に送ることが求められます。この課題に対して、INAは4列軌道リニアボールガイドシステムKUVEシリーズを提案しています。

摺動抵抗が低く均一であるため、高精度な走行が可能です。これにより、結晶ロッドを引き上げる際の一定した超低速送り動作に対応可能です。