アプリケーション

CMP(化学機械研磨)

高精度研磨を保証するロータリーテーブルベアリング

複列アンギュラ玉軸受ユニットZKLDFを生産する上で、INAはP4級という非常に明確な基準を使用しております。P4級は、仕上げ工程を経た軸受ユニットの形状および回転精度を示しており、お客様自身によりナノレベルのラップ仕上げや磨き仕上げができるよう、INAでは高精度の研磨を実施しています。

高速研削・研磨テーブルで使われる低振動の軸受には、INAロータリーテーブル用ベアリングが採用されていますが、様々な利点があります。外輪の一体のシングルピースであるため、形状が安定し、優れた剛性と精度を得ることが可能です。それ以外にも、外輪がフランジ形状になっているため取り付けが簡単であることや、制限速度が高く設定されていること等により、高剛性や高精度を得ることができます。

また、INAのロータリーテーブルベアリングは、難しい取り付け作業は不要で、必要なのは、ロックナットによる簡単な取り付けのみです。細部に至るまでコスト削減を意識した総合的なソリューションを提供しております。